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半导体干净室EHS处置设备

Local VOC


吸附浓缩半导体产业出产过程中,,黄光区内光阻涂布等制程工艺挥发的有机物,,并输送至后序中央有机排气系统集中处置。预防VOCs在干净间环境内积累,,有效保险出产员工的职业健康和安全,,提高客户制程的产品良率。


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